微細(xì)圖案鋁件機(jī)加工尺寸測(cè)量一定程度上有一定難度，它是主測(cè)量是在晶片上的線的大規(guī)模集成電路晶片和分劃板，行間距和深度上的線圖案的寬度。這是不能確定測(cè)量精度的簡(jiǎn)單方法，并且它主要依賴(lài)于線寬度測(cè)量?jī)x以?xún)煞N方式比較測(cè)量的直接測(cè)量處理。

那么我們比較進(jìn)行測(cè)量和直接影響測(cè)量的方法是怎樣的呢？

1、 鋁件機(jī)加工比較測(cè)量

比較測(cè)量方法是用于基準(zhǔn)圖形進(jìn)行比較的，來(lái)判斷要制造的圖形與標(biāo)準(zhǔn)圖形的差異，從而確定制造圖形是否正確。這種方法大多采用透射光照明，主要是適用于掩膜版的檢測(cè)。

用兩個(gè)單色光源分別照射參考掩模和被測(cè)掩模，紅光和綠光，分別通過(guò)相同倍數(shù)的顯微鏡在同一視場(chǎng)的圖像表面上成像。 因?yàn)榛鶞?zhǔn)圖形與被測(cè)圖形相同，所以將圖像組合后，如果兩個(gè)圖形完全相同，則會(huì)出現(xiàn)黑色.. 當(dāng)被測(cè)圖形有缺陷時(shí)，缺陷要么是紅色的，要么是綠色的，由人眼通過(guò)投影屏幕觀察。

另外，還可以通過(guò)采用圖形設(shè)計(jì)研究數(shù)據(jù)與所做出的掩模進(jìn)行分析比較、對(duì)照，從而檢測(cè)出缺陷，鋁件機(jī)加工這種方式方法是比較理想的方法，但數(shù)據(jù)信息處理問(wèn)題比較復(fù)雜，實(shí)現(xiàn)企業(yè)比較困難。

2、 鋁件機(jī)加工直接測(cè)量

（1） 電視測(cè)量

電視測(cè)量是由顯微鏡和電視攝像機(jī)形成的電視圖像，并將獲得的圖像處理成一定大小。 主要測(cè)量數(shù)據(jù)來(lái)自電視信號(hào)，根據(jù)測(cè)量目標(biāo)不同的光學(xué)特性，可以選擇不同靈敏度和分辨率的攝像機(jī).. 此外，應(yīng)根據(jù)數(shù)據(jù)處理的大小和速率選擇不同的存儲(chǔ)器和微處理器。

電視進(jìn)行測(cè)量像點(diǎn)的輸出信號(hào)強(qiáng)度主要取決于圖像的亮度，故需要學(xué)生良好的光學(xué)顯微鏡。由于在全視場(chǎng)的圖像亮度以及不同會(huì)造成企業(yè)不同的測(cè)量研究結(jié)果。如相同的尺寸的線條，由于中國(guó)照明不均勻、被測(cè)物體本身的差異及接收靶各部分通過(guò)不同的靈敏度，會(huì)得出對(duì)于不同的結(jié)果，因此應(yīng)正確合理選擇使用閾值電平。

（2） 光電產(chǎn)業(yè)倍增管測(cè)量控制系統(tǒng)

光電倍增管測(cè)量系統(tǒng)主要是由點(diǎn)血顯微鏡、掃描狹縫、光電倍增及計(jì)算機(jī)等組成。光源（透射或反射）照明被測(cè)件，經(jīng)物鏡和輔助物鏡成像在掃描狹縫附近，被光電倍增接收，用顯微密度計(jì)形成輪廓送入計(jì)算機(jī)對(duì)這個(gè)輪廓進(jìn)行分析，從而確定線邊緣的位置。

（3）激光掃描系統(tǒng)

利用機(jī)床光束的相干性在物體表面可以進(jìn)行分析掃描。當(dāng)物體表面載有某種標(biāo)記時(shí)，只要激光束落在標(biāo)記邊緣上，就會(huì)發(fā)展產(chǎn)生衍射的現(xiàn)象，光能量管理發(fā)生時(shí)間變化。光學(xué)信息系統(tǒng)數(shù)據(jù)接收光能量并通過(guò)光敏元件轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，從而能夠精確地測(cè)量物面上出現(xiàn)各種問(wèn)題標(biāo)記的相互影響尺寸位置。

（4）掃描電子顯微鏡

在掃描電子顯微鏡的微小尺寸測(cè)量中的應(yīng)用是理想的測(cè)量方法。這是一個(gè)測(cè)試樣品由具有高聚焦，鋁件機(jī)加工通過(guò)檢測(cè)從所獲得的樣本值的線寬發(fā)射的二次電子的電子束光柵掃描。以?xún)煞N方式使用的電子顯微鏡：一種是透射型電子顯微鏡，另一個(gè)是掃描電子顯微鏡。