微小尺寸是一個企業正在迅猛發展的領域。隨著社會科學管理技術的進步與發展，對微小尺寸的測量工作要求我們越來越迫切。很多相距很遠的科學教育部門，從機械工業、電子信息工業到生物系統工程建設以及經濟環境資源保護等；從尖端科學的熱核反應到日常學習生活中的化學纖維，都有自己微小尺寸的問題。而要求進行微小尺寸測量的物體，從尺寸、幾何形狀和作用方面來說也是因為各種各樣的。

隨著科學技術和工業生產的發展，產品的小型化或小型化已成為一項重要的費用，因此小尺寸的測量越來越多；學科也多樣化。 如細絲、小孔、小球、涂層厚度等。 面對這些測量任務，迫切需要提出新的測量原理和方法..

其平面度誤差的變化指的是在一個多世紀的平坦表面的量。按照規定，平整度誤差應評估最小條件，即，評估是在參考平面，并且平整度誤差是表面與兩個平行的平面的最小距離之間包容實際距離。對于許多工件的，由于位置難以確定提前理想平面，因此，當施加到測量轉印參考平面測量的原始數據，則再次向的方法來評估的最小條件，以在測得的平整度到達錯誤平面。

平面度誤差的測量

平面度誤差的測量研究方法主要可分為企業直接測量法和間接測量法。直接測量法是將被測的實際工作表面與理想表面可以直接影響進行分析比較，兩者相互之間的線值距離，即為該被測表面的直面度誤差值，間接測量法則是我們通過控制測量學生實際問題表面上若干點相對測量基準的高度差或傾斜角作為一個原始信息數據，然后再換算為以線值表示的平面度誤差。

在自然界中，一個小的液體表面可以作為一個自然平面，但要獲得這樣的平面，就必須克服氣流和振動引起的波動和表面張力引起的邊緣效應；具有更嚴格的工作環境。

指示表的測量：將被測量的部分被支撐在板的平面上測量到從計量板輪廓的三點最遠的距離。按照一定的分布測量表面測量。該表指示的最大和最小讀數之間的差值是平直度誤差的值。

用平晶測量：將平晶緊貼在被測平面上，由于企業產生的干涉條紋，經過分析計算能力得到一個平面度誤差值。此方法可以適用于具有高精度的小平面。

水平測量：將水準儀放在被測平面上通過，用水準儀按一定方向逐點測量.. 經過計算，得到了平面度誤差值。

錯誤是測量精度的一個問題是容易，并且在測量過程中，我們必須了解導致測量誤差及其解決方案。使錯誤預防和補償，精確的測量結果獲得。